減速機在半導體設備有哪些作用在半導體設備中,減速機(尤其是行星減速機)扮演著至關重要的角色,其主要作用體現在高精度傳動、扭矩優(yōu)化、穩(wěn)定運行、適應特殊環(huán)境等方面,具體分析如下:1.高精度傳動,滿足納米級制造需求半導體制造對精度要求高,例如光刻設備需實現納米級定位精度。行星減速機通過多齒輪協(xié)同傳動,將電機的高速旋轉轉化為低速高精度運動,確保設備的微米級甚至納米級定位精度。其傳動精度可達0.5弧分以內,齒側間隙控制在極小范圍,避免因傳動誤差導致晶圓劃傷或芯片良率下降。2.扭矩優(yōu)化,...